近来据外媒音讯，最大的光刻机出产商ASML将于本年开端为光刻机供给新式EUV防护膜，透光率可达90.6%，现在行将开端出产。

  据悉，这款薄膜是ASML与Teradyne（泰瑞达）联合研制，日本三井化学代工，现已通过了400瓦测验。

  据悉，此种防护膜大多数都用在安装在EUV光路和晶圆制作空间之间，用于防尘。ASML 2016年初次开宣布光罩薄膜，其时的透光率是78%。随后在2018年，薄膜透光率提升到80%，上一年提升到85%，其一片的价格高达26000美元（约16.74万元人民币）。三星和台积电现在为了出产功率，没用这种防护膜，虽然这会进步晶圆外表被污染的危险。这两家代工厂此前表明，他们要透光率超越90%的防护膜，才会考虑应用到出产线上。

  作为光刻机职业的龙头老大，现在全球仅有能制作极紫外光刻机的厂商，台积电、三星、英特尔先进芯片制程工艺量产所需的极紫外光刻机，均由ASML供给。

  依据ASML发布的Q1季度财务报表，其在当季营收43.64亿欧元，同比增79%，上年同期为24.41亿欧元；纯利润是13.31亿欧元，同比增240%，上年同期为3.91亿欧元。

  ASML总裁兼首席执行官温彼得表明：“获益于累积装机办理销售额的添加，咱们第一季度的销售额和毛利率均超出预期。”温彼得指出，和三个月前比较，一切细分商场和产品组合的需求都明显地添加，估计2021年的收入将完结30％的添加。

  依据ASML的财报显现，他们在本年一季度完结交给、确认收入的极紫外光刻机，共有7台，较上一年四季度的8台有削减。

  阿斯麦在财报中发表，一季度他们来自光刻机的收入共31.29亿欧元，极紫外光刻机占36%，也便是为11.26亿欧元，光刻机的均匀价格为1.6亿欧元。

  而在上一年四季度，阿斯麦在光刻机方面的收入为31.98亿欧元，极紫外光刻机所占的份额也是36%，照此核算，均匀每台的价格为1.44亿欧元。

  阿斯麦在财报中还发表，他们在一季度新获得了47亿欧元的订单，其间23亿欧元是极紫外光刻机，按每台1.6亿欧元核算，估计便是14台。